微電子

微電子用水解決方案

昌海環保為要求嚴苛的半導體市場打造了完全集成的超純水設備和廢水回收/循環系統

包括鍋爐、冷卻塔、閉路系統、CMP、流入水和廢水系統、監測以及診斷。

  • 微電子生產清洗硅片所用的超純水、半導體材料、器件、電解電容生產鋁箔及工作件的清洗用水

  • 適用于CMP、晶片拋光、清水沖洗、切割和背面研磨的即用型超純水設備

  • 來自海水或苦咸水水源的純水設備

  • 通過水回收和回用系統,減少重金屬、廢酸、顆粒物和有機物含量的廢水回用設備

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